无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净室的管理规范:
1、严格各类设备,设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备,设施按要求正常运转,包括净化系统,各类水,气,电系统,生产工艺设备和工具(工具夹)等,以确保产品生产工艺要求和空气洁净度级别。
2、清扫,灭菌管理,对洁净室内的各类设备,设施的清扫,灭菌以及方法,周期和检查明确的规定,防止,梢除洁净室内尘粒,微生物的生产,滞留,繁殖。
洁净室净化工程检测仪器的选用:虽然对净化车间内的洁净度的丈量,可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结的核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但现在用得多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量,并且可以直接显现瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行丈量,使用简单、方便、及时、灵敏。
洁净室净化工程检测点的安置:依据中华人民共和国GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规则:在对净化车间进行洁净度检测时,检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;关于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安置5个测点。
以上信息由专业从事湘潭净化工程设计施工厂家的云洁净化于2024/5/8 13:41:16发布
转载请注明来源:http://xiangtan.mf1288.com/csyjjh-2749232215.html